シリコン・ウエハーの乾燥

ハロゲンリングヒーターによるシリコン・ウエハーの乾燥

問題点

小型で広域加熱する良い方法が無くて困っていた。

 ⇒改善のポイント

広域を均一加熱できるリングヒーターを導入した。
乾燥の効率が上がった。

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