FPDの加熱

ハロゲンラインヒーターによるFPDの加熱

問題点

長尺の均一加熱できるヒーターがなかった。

 ⇒改善のポイント

ハロゲンラインヒーターで加熱した。
5秒で最高温度まで昇温するので、サイクルタイムを維持できた。
「高速昇降温と非接触加熱」が可能で、さらに基板大型化に対応するため、最長2.5Mまで長尺化を可能にした。
今まで、アイドリングに30分かけていたので、アイドリングタイムはゼロになった。

そして、電気使用料金も、1日当たり、30kwx0.5hx12.16=182.4円コストダウンができた。
年間(250日稼動)で、45600円コストダウンができた。
さらに、C02の年間排出量も1500kg低減できた。

※電気使用料金単価は12.16円/kWhとして計算しました。
※装置全体の電気使用量を30kWhとして計算しました。
※CO2排出係数は、0.4kg-CO2/kwhとして計算しました。