シリコンウェハーの計測システムの熱源問題点シリコンウェハーを簡単に加熱できる良い方法が無くて困っていた。⇒改善のポイント熱風ヒーターで高温窒素ガスを注入し、天面温度を400℃にした。 真空にしなくてもウェハーの測定が可能になった。関連するページ: フィルムシュリンク 巻き線コイルの自己融着 バーナーの着火源 スパチュラ(スパーテル、薬匙)の加熱殺菌 アンモニアガスの加熱 加工穴の乾燥 可動部の加熱 樹脂の熱かしめ 熱風ヒーターの活用法-機械加工 熱風ヒーターの活用法-電機・電子 2011-07-01HEAT-TECH info