シリコンウェハーの計測システムの熱源

問題点

シリコンウェハーを簡単に加熱できる良い方法が無くて困っていた。

⇒改善のポイント

熱風ヒーターで高温窒素ガスを注入し、天面温度を400℃にした。
真空にしなくてもウェハーの測定が可能になった。