シリコンウェハーの乾燥

問題点

従来の方法では乾燥空気の中に金属イオンが含まれるので困っていた。

⇒改善のポイント

熱風ヒーターのクリーンルーム仕様で加熱・乾燥した。
硝子コーティングされたヒーターなので、金属イオンの含有量が減った。