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集光型CVD加熱炉の光熱源
ハロゲンポイントヒーターの活用法, ハロゲンポイントヒーターの活用法

集光型CVD加熱炉の光熱源

2014/08/13 HEAT-TECH info

問題点

小型で制御性が高く、エネルギー効率の高い加熱炉が必要だった。

 ⇒改善のポイント

短時間で高温加熱できるハロゲンポイントヒーターを使用した。
小型でエネルギー効率の良い加熱プロセスが実現できた。

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