シリコンウェハーの窒素乾燥

問題点

自然乾燥すると水滴の跡が残り気になっていた。

⇒改善のポイント

熱風ヒーターで窒素を加熱して乾燥した。
水滴の跡が無くなり、酸化も無いので品位が向上した。

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